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四探針電阻率測試儀工作流程

發(fā)布時(shí)間: 2021-04-16 10:48:48 點(diǎn)擊: 2360

四探針電阻率測試儀工作流程

本文從的定義,工作原理,組成,

四探針電阻率測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。單晶硅物理測試方法國標(biāo); A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

雙電測試法:

利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析.


測試步驟:

1.接通電源,打開電源開關(guān).

2.液晶顯示界面選擇“方阻”并設(shè)置,探針形狀,探針間距,選擇測試電壓檔位,輸入樣品厚度.

3.將被測樣品放入測試平臺上,旋動探頭與樣品接觸.

4.儀器自動顯示出,方阻,電阻率及電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

5.如配置有PC軟件系統(tǒng)時(shí),所有上述步驟在軟件界面執(zhí)行即可.


優(yōu)點(diǎn):

自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,提高精確度,

特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。


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