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四探針電阻率/方阻測試儀的分類介紹

發布時間: 2022-08-04 15:02:32 點擊: 1353

四探針電阻率/方阻測試儀的分類介紹
在半導體等新型應用材料行業中,四探針測試儀是不陌生的,幾乎是必備檢測手段,比如硅片晶圓,二代,三代芯片應用的半導體材料;半導體材料是個統稱,還有其他類型的根據不同的應用場景不同而備制方式也不同,比如:涂層類,薄膜類及導體與絕緣材料的添加備制等新材料都屬于半導體性質,這些材料質量的檢測都離不開四探針方法的四探針測試儀來測量.


一.四探針測量方法分類

四探針電阻率/方阻測試儀一般來說所有的四探針測試儀方法都不一定相同,不同方法對測量準確性及精度影響比較大的,常見的有單一計算方法和組合計算測量方法;組合方法更加優在準確性和重復性.特別是應用于高要求的晶圓類產品的測量時突出表現.


二.四探針測試儀自動化程度來分類

四探針電阻率/方阻測試儀大體分類為,全自動類型和半自動類型;全自動類型成本高,精度和穩定性要求也高,如全自動四探針測試儀一般采用MAP地圖圖譜方式來描述整體樣品均勻性及方阻和電阻率數據,也就是應用2D和3D 圖.


而半自動類設備,里面也分類為簡易的數據顯示結果,和半人工配合操控的類型數據量更加豐富些,


三.四探針電阻率/方阻測試儀按照便捷性劃分為手持式和臺式機型,比如需隨身攜帶的手持四探針測試儀就是便捷用途;

四.在依據不同的測試條件下也可以做劃分:比如常溫下使用的,及高溫四探針測試等

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