GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法
發布時間: 2021-12-23 13:09:45 點擊: 1396
GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法
FT-300TZ兩探針電阻率測試儀
一、功能介紹:
適用于半導體材料企業、科研、高等院校及實驗室分析半導體材料縱向電阻率;可測量橫截面積均勻的圓形、方形或矩形硅單晶的電阻率,試樣長度與截面尺寸之比應不小于3:1;配置測量平臺,正反向電流測量模式;液晶顯示,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,可選購PC軟件實時數據和報表管理;提供中文或英文兩種語言操作界面選擇.
二.參照標準:
GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法-方法2直流兩探針法;
SEMI MF 397-1106<<硅棒電阻率測定兩探針法>>
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